對(duì)于應(yīng)有的測(cè)量結(jié)果（測(cè)量值），測(cè)量結(jié)果因某些要素的影響而不同時(shí)，將其差異稱(chēng)為“測(cè)量誤差”。測(cè)量誤差的原因各式各樣，需要根據(jù)原因進(jìn)行處理。產(chǎn)生測(cè)量誤差時(shí)，應(yīng)在充分討論“為什么會(huì)產(chǎn)生該測(cè)量誤差”后采取對(duì)策，穩(wěn)定制造品的品質(zhì)尤為重要。
測(cè)量誤差的原因1是測(cè)量?jī)x的誤差，可發(fā)生在原來(lái)測(cè)量?jī)x中測(cè)量誤差或是測(cè)量精度的長(zhǎng)期劣化（因消耗部件的磨損等導(dǎo)致的劣化）；原因2是測(cè)量人員的誤差，比如不習(xí)慣測(cè)量?jī)x的操作或者不熟練或者刻度讀取方式不一致；原因3是環(huán)境條件的誤差，比如測(cè)量目標(biāo)物因溫度變化發(fā)生變形或者在亮度不同處進(jìn)行測(cè)量。
我們知道了測(cè)量誤差的原因后，如何消除呢。取決于測(cè)量?jī)x或環(huán)境條件的誤差可在確認(rèn)其原因后采取對(duì)策，從而消除誤差。關(guān)于取決于測(cè)量人員的誤差，也存在重新設(shè)置測(cè)量工序或員工教育等中長(zhǎng)期的對(duì)策。
如果對(duì)1個(gè)目標(biāo)物進(jìn)行多次測(cè)量，則可消除測(cè)量誤差。但在檢查工序中采取上述對(duì)策是不實(shí)際的。在1次測(cè)量中，為了獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量值，需要事先根據(jù)測(cè)量誤差的原因進(jìn)行處理。
針對(duì)測(cè)量?jī)x的原有誤差，我們可以定期實(shí)施校正或者進(jìn)行定期維護(hù)，更換消耗部件，也可以在開(kāi)始作業(yè)前和開(kāi)始作業(yè)后確認(rèn)精度。
針對(duì)人為誤差，可以制定標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量方法（測(cè)量工序），實(shí)施以作業(yè)人員的技能提升為目的的教育，或者導(dǎo)入自動(dòng)測(cè)量?jī)x；若使用的是接觸式測(cè)量?jī)x，還可以用非接觸式測(cè)量?jī)x進(jìn)行替代。
aTiny小不點(diǎn)激光位移傳感器非接觸式測(cè)量，高精度。
